Micro- and nanopatterning of sensor chips by means of macroporous silicon.
| Verfasserangaben: | A. Kurowski, J. Schultze, H. Lüth, Michael Josef SchöningORCiD |
|---|---|
| ISBN: | 0925-4005 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Sensors and Actuators B. 83 (2002), H. 1-3 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2002 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 123 |
| Letzte Seite: | 128 |
| Bemerkung: | Selected Papers from TRANSDUCERS '01 EUROSENSORS XV |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1016/S0925-4005(01)01054-1 |
| Zugriffsart: | campus |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
