Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung
- Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.
| Verfasserangaben: | Antoni Picard, Manfred Brill, Detlev Cassel, Andreas Jentsch, Markus Rollwa, Klaus-Peter Kämper, Sabine Merten |
|---|---|
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Deutsch |
| Erscheinungsjahr: | 2002 |
| Veröffentlichende Institution: | Fachhochschule Aachen |
| Urhebende Körperschaft: | FH-Kaiserslautern |
| Datum der Publikation (Server): | 12.12.2005 |
| Freies Schlagwort / Tag: | Mikrotechnik; Oxidationsofen; Oxidschicht; mikrotechnische Komponenten; multimediale Lernsoftware micro technology; micro-technical components; oxidation furnace; oxide coating |
| GND-Schlagwort: | Mikrosystemtechnik; Photolithographie |
| Quelle: | Rundschau, FH-Kaiserlautern, Ausgabe Juli 2002, Seite 14 - 15 |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / FH Aachen |
| DDC-Klassifikation: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 62 Ingenieurwissenschaften / 620 Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
