Innovative Schichttechniken und Messprinzipien für kapazitive Feldeffektsensoren
| Verfasserangaben: | Michael Josef SchöningORCiD, T. Yoshinobu, J. Schubert, A. Steffen, H. Lüth |
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| ISBN: | 3-8007-2675-0 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Sensoren und Mess-Systeme : Vorträge der 11. ITG/GMA-Fachtagung vom 11. bis 12. März 2002 in Ludwigsburg / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ... Wiss. Tagungsleitung: C. D. Kohl .... |
| Verlag: | VDE-Verl. |
| Verlagsort: | Berlin [u.a.] |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Deutsch |
| Erscheinungsjahr: | 2002 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Umfang: | 421 S : Ill., graph. Darst. |
| Erste Seite: | 151 |
| Letzte Seite: | 154 |
| Bemerkung: | Sensoren und Mess-Systeme 2002 |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
