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A silicon-based sensor array with capacitive EIS structures

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Verfasserangaben:Michael Josef SchöningORCiD, B. Weidenbrück, M. Thust, P. Kordos, H. Lüth
ISBN:83-908335-0-6
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Proceedings of the 11th European Conference on Solid-State Transducers / Eurosensors XI, September 21 - 24, 1997, Warsaw, Poland. [Organised by] Warsaw University of Technology. Vol 2.
Verlag:Sensor Lab Sp.
Verlagsort:Warsaw
Dokumentart:Wissenschaftlicher Artikel
Sprache:Englisch
Erscheinungsjahr:1997
Datum der Publikation (Server):18.12.2012
Erste Seite:871
Letzte Seite:874
Bemerkung:
Eurosensors ; (11, 1997, Warszawa) ; Eurosensors - European Conference on Solid-State Transducers ; (11 : ; 1997.09.21-24 : ; Warsaw)
Fachbereiche und Einrichtungen:FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik