Abscheidegeschwindigkeiten und Prozeßausbeuten im PCVD-Verfahren. Geittner, P.; Hagemann, H. J.; Schnittker, W.; Warnier, J.; Weling, F.; Wilson, H.
Author: | Hans-Jürgen Hagemann, P. Geittner, W. Schnittker, J. Warnier |
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Parent Title (German): | Philips - Unsere Forschung in Deutschland / Hrsg.: Philips Forschungslaboratorium GmbH Aachen und Hamburg. 4 (1989) |
Document Type: | Article |
Language: | German |
Year of Completion: | 1989 |
First Page: | 140 |
Last Page: | 143 |
Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |