Metadaten| Verfasserangaben: | Holger HeuermannORCiD, A. Rumiantsev, S. Schott |
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| ISBN: | 0-7803-8371-0 |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | On wafer characterization : 63rd ARFTG conference digest, spring 2004, 11 June 2004, Fort Worth, TX / Automatic RF Techniques Group. [Conference chair: John Cable. Publication chair: J. G. Burns] |
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| Verlag: | IEEE Operations Center |
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| Verlagsort: | Piscataway, NJ |
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| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
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| Sprache: | Englisch |
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| Erscheinungsjahr: | 2004 |
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| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
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| Umfang: | X, 227 S : Ill., graph. Darst. |
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| Erste Seite: | 91 |
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| Letzte Seite: | 96 |
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| Bemerkung: | Microwave Theory and Techniques Society. ; Automatic RF Techniques Group ; ARFTG conference ; (63 : ; 2004.06.11 : ; Fort Worth, Tex.) |
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| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
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