Optimization of passivation layers for corrosion protection of silicon-based microelectrode arrays
| Verfasserangaben: | F. Faßbender, G. Schmitt, Michael Josef SchöningORCiD, H. Lüth, G. Buß, J. W. Schultze |
|---|---|
| ISBN: | 0925-4005 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Sensors and Actuators B. 68 (2000), H. 1-3 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2000 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 128 |
| Letzte Seite: | 133 |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1016/S0925-4005(00)00472-X |
| Zugriffsart: | campus |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
