Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
Metadaten| Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996 |
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| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
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| Sprache: | Deutsch |
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| Erscheinungsjahr: | 1996 |
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| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
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| Erste Seite: | 121 |
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| Letzte Seite: | 126 |
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| Bemerkung: | Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41 |
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| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
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