Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Michel, F.
MetadatenAuthor: | Klaus-Peter Kämper |
---|
Parent Title (German): | Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International |
---|
Place of publication: | Stuttgart |
---|
Document Type: | Article |
---|
Language: | German |
---|
Year of Completion: | 1994 |
---|
Date of the Publication (Server): | 2012/12/18 |
---|
Length: | getr. Zählung |
---|
Note: | MicroEngineering ; (1, 1994, Stuttgart) |
---|
Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
---|