Market oriented development and production of microdevices. Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.; Schmidt, M.; Schulz, C.
| Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, W. Ehrfeld, V. Hessel, M. Lacher |
|---|---|
| ISBN: | 0-7803-3664-X |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Proceedings : 21th International Conference on Microelectronics : MIEL '97 ; Niš, Yugoslavia, 14-17 September 1997. Vol. 1 |
| Verlag: | IEEE Service Center |
| Verlagsort: | Piscataway, NJ |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 1997 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Umfang: | XVI, 438 S. |
| Erste Seite: | 71 |
| Letzte Seite: | 79 |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1109/ICMEL.1997.625185 |
| Zugriffsart: | bezahl |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
