Microsystem technology: Between research and industrial application. Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.
| Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, M. Abraham, W. Ehrfeld, V. Hessel |
|---|---|
| ISBN: | 0167-9317 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Microelectronic Engineering. 41-42 (1998) |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 1998 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 47 |
| Letzte Seite: | 52 |
| Bemerkung: | International Conference on Micro- and Nanofarbication <Athens, Greece, 15 September - 18 September 1998> |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1016/S0167-9317(98)00011-2 |
| Zugriffsart: | campus |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
