Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Michel, F.
Author: | Klaus-Peter Kämper |
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Parent Title (German): | Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International |
Place of publication: | Stuttgart |
Document Type: | Article |
Language: | German |
Year of Completion: | 1994 |
Length: | getr. Zählung |
Note: | MicroEngineering ; (1, 1994, Stuttgart) |
Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |