LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
| Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, W. Ehrfeld, H. Lehr, F. Michel |
|---|---|
| ISBN: | 0931-2714 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Deutsch |
| Erscheinungsjahr: | 1993 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | LXIX |
| Letzte Seite: | LXXI |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
