Pulsed laser deposition: A tool for fabricating thin-film microsensors
Verfasserangaben: | Joachim P. Kloock, Y. Mourzina, J. Schubert, Y. Ermelenko, Michael Josef SchöningORCiD |
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ISBN: | 0932-4666 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Biomedizinische Technik. 49 (2004), H. 2 |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2004 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 1032 |
Letzte Seite: | 1033 |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |