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Can pulsed laser deposition serve as an advanced technique in fabricating chemical sensors?

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Verfasserangaben:Michael Josef SchöningORCiD, Y. G. Mourzina, J. Schubert, W. Zander, A. Legin, Y. G. Vlasov, H. Lüth
ISBN:87-89935-50-0
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Proceedings : Copenhagen, Denmark, 27 - 30 August 2000 / [ed.: R. de Reus ...]
Verlag:MIC, Mikroelektronik Centret
Verlagsort:Lyngby, Denmark
Dokumentart:Wissenschaftlicher Artikel
Sprache:Englisch
Erscheinungsjahr:2000
Datum der Publikation (Server):18.12.2012
Umfang:1 CD-ROM
Erste Seite:615
Letzte Seite:618
Bemerkung:
Eurosensors ; (14, 2000, København) ; Eurosensors ; (14 : ; 2000.08.27-30 : ; Copenhagen) ; European Conference on Solid-State Transducers ; (14 : ; 2000.08.27-30 : ; Copenhagen)
Fachbereiche und Einrichtungen:FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien