High resolution LAPS using amorphous silicon as the semiconductor material
| Verfasserangaben: | W. Moritz, T. Yoshinobu, F. Finger, S. Krause, M. Martin-Fernandez, Michael Josef SchöningORCiD |
|---|---|
| ISBN: | 0925-4005 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Sensors and Actuators B. 103 (2004), H. 1-2 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2004 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 436 |
| Letzte Seite: | 444 |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1016/j.snb.2004.04.073 |
| Zugriffsart: | campus |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
