Market oriented development and production of microdevices. Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.; Schmidt, M.; Schulz, C.
Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, W. Ehrfeld, V. Hessel, M. Lacher |
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ISBN: | 0-7803-3664-X |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Proceedings : 21th International Conference on Microelectronics : MIEL '97 ; Niš, Yugoslavia, 14-17 September 1997. Vol. 1 |
Verlag: | IEEE Service Center |
Verlagsort: | Piscataway, NJ |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 1997 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Umfang: | XVI, 438 S. |
Erste Seite: | 71 |
Letzte Seite: | 79 |
Link: | http://dx.doi.org/10.1109/ICMEL.1997.625185 |
Zugriffsart: | bezahl |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |