Metadaten| Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, J. Döpper, W. Ehrfeld, S. Oberbeck |
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| ISBN: | 078034412X |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Proceedings : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems / sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society in cooperation with the ASME Dynamic Systems and Control Division |
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| Verlag: | IEEE Service Center |
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| Verlagsort: | Piscataway, NJ |
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| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
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| Sprache: | Englisch |
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| Erscheinungsjahr: | 1998 |
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| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
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| Umfang: | XXX, 660 S. |
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| Erste Seite: | 432 |
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| Letzte Seite: | 437 |
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| Bemerkung: | International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems <11, 1998, Heidelberg> |
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| Link: | http://dx.doi.org/10.1109/MEMSYS.1998.659796 |
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| Zugriffsart: | bezahl |
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| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
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