Diamond chemical vapor deposition: gas compositions and film properties / Bachmann, P.K.; Hagemann, H.-J.; Lade, H; Leers, D.; Picht, F.; Wiechert, D.U.; Wilson, H.
Metadaten| Verfasserangaben: | Hans-Jürgen Hagemann, P.K. Bachmann, H. Lade, D. Leers |
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| ISBN: | 1-55899-239-1 |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Diamond, SiC and nitride wide bandgap semiconductors : symposium held April 4 - 8, 1994, San Francisco, California, U.S.A. / ed.: Calvin H. Carter, Jr. ... |
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| Verlagsort: | Pittsburgh, Penn. |
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| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
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| Sprache: | Englisch |
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| Erscheinungsjahr: | 1994 |
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| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
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| Umfang: | XV, 760 S. : Ill., graph. Darst. |
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| Erste Seite: | 267 |
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| Letzte Seite: | 277 |
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| Bemerkung: | Materials Research Society symposium proceedings ; 339 |
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| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
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