Fabrication of thin-film LAPS with amorphous silicon
| Verfasserangaben: | T. Yoshinobu, Michael Josef SchöningORCiD, F. Finger, W. Moritz, H. Iwasaki |
|---|---|
| ISBN: | 1424-8220 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Sensors. 4 (2004), H. 10 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2004 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 163 |
| Letzte Seite: | 169 |
| Link: | http://www.mdpi.org/sensors/papers/s41000163.pdf |
| Zugriffsart: | weltweit |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
