Pulsed laser deposition: A tool for fabricating thin-film microsensors
Author: | Joachim P. Kloock, Y. Mourzina, J. Schubert, Y. Ermelenko, Michael Josef SchöningORCiD |
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ISBN: | 0932-4666 |
Parent Title (English): | Biomedizinische Technik. 49 (2004), H. 2 |
Document Type: | Article |
Language: | English |
Year of Completion: | 2004 |
First Page: | 1032 |
Last Page: | 1033 |
Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |