PCVD at high deposition rates. Geittner, P.; Hagemann, H. J.; Warnier, J.; Wilson, H.
Verfasserangaben: | Hans-Jürgen Hagemann, P. Geittner, J. Warnier, H. Wilson |
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ISBN: | 0733-8724 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of Lightwave Technology (J-LT) / Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE). 4 (1986), H. 7 |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 1986 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 818 |
Letzte Seite: | 822 |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |