Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik für die Prozeßüberwachung
Author: | Michael Josef SchöningORCiD, M. Thust, A. Steffen, Mattea Müller-Veggian |
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ISBN: | 0341-0196 |
Parent Title (German): | ITG-Fachbericht. 148 (1998) |
Document Type: | Article |
Language: | German |
Year of Completion: | 1998 |
First Page: | 257 |
Last Page: | 263 |
Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |