Biochemical sensors with structured and porous silicon capacitors
| Verfasserangaben: | H. Lüth, M. Thust, A. Steffen, P. Kordos, Michael Josef SchöningORCiD |
|---|---|
| ISBN: | 0921-5107 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Materials Science and Engineering B. 69-70 (2000) |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2000 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 104 |
| Letzte Seite: | 108 |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1016/S0921-5107(99)00275-5 |
| Zugriffsart: | campus |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
