Metadaten| Verfasserangaben: | Arnold Förster, C. Ohler, J. Moers |
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| ISBN: | 1071-1023 |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 13 (1993), H. 4 |
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| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
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| Sprache: | Englisch |
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| Erscheinungsjahr: | 1993 |
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| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
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| Erste Seite: | 1728 |
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| Letzte Seite: | 1735 |
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| Bemerkung: | ISSN der E-Ausg.: 0734-211X |
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| Link: | http://dx.doi.org/10.1116/1.587884 |
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| Zugriffsart: | bezahl |
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| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Energietechnik |
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