Pulsed laser deposition: A tool for fabricating thin-film microsensors
| Verfasserangaben: | Joachim P. Kloock, Y. Mourzina, J. Schubert, Y. Ermelenko, Michael Josef SchöningORCiD |
|---|---|
| ISBN: | 0932-4666 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Biomedizinische Technik. 49 (2004), H. 2 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2004 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 1032 |
| Letzte Seite: | 1033 |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
