High-rate sputtering of zinc oxide with a funnel-shaped magnetic field: Effect of the target thickness on the layer properties
Metadaten| Verfasserangaben: | Andreas Mohnke |
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| ISBN: | 0042-2266 |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Vakuum-Technik. 36 (1987), H. 5 |
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| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
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| Sprache: | Englisch |
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| Erscheinungsjahr: | 1987 |
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| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
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| Erste Seite: | 148 |
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| Letzte Seite: | 151 |
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| Bemerkung: | unter 63 ZS 073-1986/87 in der Bibliothek Jülich vorhanden |
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| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Energietechnik |
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