Neue Kalibrierverfahren fuer on-wafer-Messungen
Author: | Holger HeuermannORCiD, Burkhard Schiek |
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Parent Title (German): | Kleinheubacher Berichte : Vorträge und Berichte der gemeinsamen Tagung des U.R.S.I.-Landesausschusses in der Bundesrepublik Deutschland / Hrsg.: Deutsche Telekom AG. 37. 1993 (1993) |
Document Type: | Article |
Language: | German |
Year of Completion: | 1993 |
First Page: | 195 |
Last Page: | 204 |
Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |