LIGA Components for the Construction of Milliactuators. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schmidt, M.
Metadaten| Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, H. Lehr, W. Ehrfeld, F. Michel |
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| ISBN: | 0780321146 |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | 1994 IEEE Symposium on Emerging Technologies & Factory Automation : novel disciplines for the next century ; proceedings, November 6 - 10, 1994, Tokyo, Japan / ETFA '94. Hiroyuki Fujita [chairman] ... Sponsored by: Institute of Industrial Science, SEIKEN |
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| Verlagsort: | Piscataway, N.J. |
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| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
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| Sprache: | Englisch |
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| Erscheinungsjahr: | 1994 |
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| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
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| Umfang: | 477 S : Ill. |
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| Erste Seite: | 43 |
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| Letzte Seite: | 47 |
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| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
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