Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung
- Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.
| Author: | Antoni Picard, Manfred Brill, Detlev Cassel, Andreas Jentsch, Markus Rollwa, Klaus-Peter Kämper, Sabine Merten |
|---|---|
| Document Type: | Article |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2002 |
| Publishing Institution: | Fachhochschule Aachen |
| Creating Corporation: | FH-Kaiserslautern |
| Tag: | Mikrotechnik; Oxidationsofen; Oxidschicht; mikrotechnische Komponenten; multimediale Lernsoftware micro technology; micro-technical components; oxidation furnace; oxide coating |
| GND Keyword: | Mikrosystemtechnik; Photolithographie |
| Source: | Rundschau, FH-Kaiserlautern, Ausgabe Juli 2002, Seite 14 - 15 |
| Institutes: | FH Aachen / FH Aachen |
| Dewey Decimal Classification: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 62 Ingenieurwissenschaften / 620 Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
