Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
MetadatenAuthor: | Klaus-Peter Kämper |
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Parent Title (German): | 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996 |
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Document Type: | Article |
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Language: | German |
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Year of Completion: | 1996 |
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First Page: | 121 |
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Last Page: | 126 |
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Note: | Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41 |
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Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
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