Microactuators as driving units for microrobotic systems. Herstellung von Mikroaktoren mit dem LIGA-Verfahren für Mikroroboter / Lehr, H.; Abel, S.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulu, c.; Thürigen, C.
Author: | Klaus-Peter Kämper, H. Lehr, S. Abel, J. Döpper |
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ISBN: | 0277-786X |
Parent Title (English): | Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering |
Document Type: | Article |
Language: | English |
Year of Completion: | 1996 |
First Page: | 202 |
Last Page: | 210 |
Note: | Konferenz-Einzelbericht. |
Link: | http://dx.doi.org/10.1117/12.260624 |
Zugriffsart: | bezahl |
Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |