LIGA Example 2: Electromagnetic Micromotor. Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C.
Metadaten| Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, B. Hagemann, H. Lehr, F. Michel |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | LIGA technique / Hans-Dieter Bauer (ed.). [Developed by UETP-MEMS, University Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems ...]. - 2.ed. |
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| Verlag: | FSRM |
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| Verlagsort: | Neuchatel |
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| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
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| Sprache: | Englisch |
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| Erscheinungsjahr: | 1995 |
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| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
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| Umfang: | S. a - c, 139 S.; Ill., graph. Darst. |
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| Erste Seite: | 100 |
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| Letzte Seite: | 110 |
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| Bemerkung: | University Enterprise Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems |
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| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
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