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Evaluation of dopant profiles and diffusion constants by means of electron energy loss spectroscopy

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Verfasserangaben:Arnold Förster, J. M. Layet, H. Lüth
ISBN:0169-4332
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Applied Surface Science. 41 - 42 (1989)
Dokumentart:Wissenschaftlicher Artikel
Sprache:Englisch
Erscheinungsjahr:1989
Datum der Publikation (Server):18.12.2012
Erste Seite:306
Letzte Seite:311
Bemerkung:
ISSN der E-Ausg.: 0169-4332
Link:http://dx.doi.org/10.1016/0169-4332(89)90076-7
Zugriffsart:campus
Fachbereiche und Einrichtungen:FH Aachen / Fachbereich Energietechnik