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Implication of the light polarisation for UV curing of pre-patterned resists
| Verfasserangaben: | M. Wissen, N. Bogdanski, H.-C. Scheer, Andreas Bitz, G. Ahrens, G. Gruetzner |
|---|---|
| DOI: | https://doi.org/10.1016/j.mee.2004.12.099 |
| ISSN: | 0167-9317 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Microelectronic Engineering |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2005 |
| Datum der Publikation (Server): | 10.04.2017 |
| Jahrgang: | 78-79 |
| Erste Seite: | 659 |
| Letzte Seite: | 664 |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
