Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik für die Prozeßüberwachung
| Verfasserangaben: | Michael Josef SchöningORCiD, M. Thust, A. Steffen, Mattea Müller-Veggian |
|---|---|
| ISBN: | 0341-0196 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | ITG-Fachbericht. 148 (1998) |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Deutsch |
| Erscheinungsjahr: | 1998 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 257 |
| Letzte Seite: | 263 |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
