Microactuators as driving units for microrobotic systems. Herstellung von Mikroaktoren mit dem LIGA-Verfahren für Mikroroboter / Lehr, H.; Abel, S.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulu, c.; Thürigen, C.
| Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, H. Lehr, S. Abel, J. Döpper |
|---|---|
| ISBN: | 0277-786X |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 1996 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 202 |
| Letzte Seite: | 210 |
| Bemerkung: | Konferenz-Einzelbericht. |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1117/12.260624 |
| Zugriffsart: | bezahl |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
