Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung
- Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.
Verfasserangaben: | Antoni Picard, Manfred Brill, Detlev Cassel, Andreas Jentsch, Markus Rollwa, Klaus-Peter Kämper, Sabine Merten |
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Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Deutsch |
Erscheinungsjahr: | 2002 |
Veröffentlichende Institution: | Fachhochschule Aachen |
Urhebende Körperschaft: | FH-Kaiserslautern |
Datum der Publikation (Server): | 12.12.2005 |
Freies Schlagwort / Tag: | Mikrotechnik; Oxidationsofen; Oxidschicht; mikrotechnische Komponenten; multimediale Lernsoftware micro technology; micro-technical components; oxidation furnace; oxide coating |
GND-Schlagwort: | Mikrosystemtechnik; Photolithographie |
Quelle: | Rundschau, FH-Kaiserlautern, Ausgabe Juli 2002, Seite 14 - 15 |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / FH Aachen |
DDC-Klassifikation: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 62 Ingenieurwissenschaften / 620 Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |