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15-term self-calibration methods for the error-correction of on-wafer measurements

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Verfasserangaben:Holger HeuermannORCiD, B. Schiek
ISBN:0018-9456
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):IEEE transactions on instrumentation and measurement : IM / Institute of Electrical and Electronics Engineers, Instrumentation and Measurement Group. 46 (1997), H. 5
Dokumentart:Wissenschaftlicher Artikel
Sprache:Englisch
Erscheinungsjahr:1997
Datum der Publikation (Server):18.12.2012
Erste Seite:1105
Letzte Seite:1110
Link:http://dx.doi.org/10.1109/19.676721
Zugriffsart:campus
Fachbereiche und Einrichtungen:FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik