PCVD at high deposition rates. Geittner, P.; Hagemann, H. J.; Warnier, J.; Wilson, H.
| Verfasserangaben: | Hans-Jürgen Hagemann, P. Geittner, J. Warnier, H. Wilson |
|---|---|
| ISBN: | 0733-8724 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of Lightwave Technology (J-LT) / Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE). 4 (1986), H. 7 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 1986 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 818 |
| Letzte Seite: | 822 |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
