Microsystem technology: Between research and industrial application. Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.
Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, M. Abraham, W. Ehrfeld, V. Hessel |
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ISBN: | 0167-9317 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Microelectronic Engineering. 41-42 (1998) |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 1998 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 47 |
Letzte Seite: | 52 |
Bemerkung: | International Conference on Micro- and Nanofarbication <Athens, Greece, 15 September - 18 September 1998> |
Link: | http://dx.doi.org/10.1016/S0167-9317(98)00011-2 |
Zugriffsart: | campus |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |