MetadatenVerfasserangaben: | Arnold Förster, A. Tulke, H. Lüth |
---|
ISBN: | 1071-1023 |
---|
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 5 (1987), H. 4 |
---|
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
---|
Sprache: | Englisch |
---|
Erscheinungsjahr: | 1987 |
---|
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
---|
Erste Seite: | 1054 |
---|
Letzte Seite: | 1056 |
---|
Bemerkung: | ISSN der E-Ausg.: 0734-211X |
---|
Link: | http://dx.doi.org/10.1116/1.583727 |
---|
Zugriffsart: | bezahl |
---|
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Energietechnik |
---|