Abscheidegeschwindigkeiten und Prozeßausbeuten im PCVD-Verfahren. Geittner, P.; Hagemann, H. J.; Schnittker, W.; Warnier, J.; Weling, F.; Wilson, H.
| Verfasserangaben: | Hans-Jürgen Hagemann, P. Geittner, W. Schnittker, J. Warnier |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Philips - Unsere Forschung in Deutschland / Hrsg.: Philips Forschungslaboratorium GmbH Aachen und Hamburg. 4 (1989) |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Deutsch |
| Erscheinungsjahr: | 1989 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 140 |
| Letzte Seite: | 143 |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
