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Reduction of geometric taper losses in the PCVD process. Geittner, P.; Hagemann, H. J.; Warnier, J.; Weling, F.; Wilson, H.

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Verfasserangaben:Hans-Jürgen Hagemann, P. Geittner, J. Warnier, F. Weling
ISBN:0013-5194
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Electronics letters : an intern. publication / The Institution of Electrical Engineers. 21 (1985), H. 13
Dokumentart:Wissenschaftlicher Artikel
Sprache:Englisch
Erscheinungsjahr:1985
Datum der Publikation (Server):18.12.2012
Erste Seite:870
Letzte Seite:871
Link:http://dx.doi.org/10.1049/el:19850614
Zugriffsart:bezahl
Fachbereiche und Einrichtungen:FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik