Amorphous silicon as semiconductor material for high resolution LAPS
| Verfasserangaben: | Werner Moritz, Tatsuo Yoshinobu, Friedhelm Finger, Steffi Krause, Michael Josef SchöningORCiD |
|---|---|
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Eurosensors XVII : the 17th European Conference on Solid-State Transducers ; University of Minho, Guimarães, Portugal, September 21 - 24, 2003 |
| Dokumentart: | Konferenzveröffentlichung |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2003 |
| Datum der Publikation (Server): | 15.01.2015 |
| Erste Seite: | 48 |
| Letzte Seite: | 49 |
| Link: | http://repositorium.sdum.uminho.pt/bitstream/1822/4837/1/BookOfAbstractsFinal.pdf |
| Zugriffsart: | weltweit |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
