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pH-sensitive properties of barium strontium titanate (BST) high-k thin films as alternative gate material for field-effect capacitive (bio-)chemical sensors based on an electrolyte-insulator-semiconductor system have been investigated. The BST films of different compositions (Ba0.31Sr0.69TiO3, Ba0.25Sr0.75TiO3 and Mg-doped Ba0.8Sr0.2Mg0.1Ti0.9O3) were deposited by pulsed laser deposition technique from targets fabricated by self-propagating high-temperature synthesis. The realised sensors have been electrochemically characterised by means of impedance-spectroscopy, capacitance–voltage and constant-capacitance method. The sensors possess a Nernstian-like pH sensitivity in the concentration range between pH 3 and 11 with a response time of 5–10 s. An equivalent circuit model for the BST-based capacitive field-effect sensor is discussed.
Eine SPS im Kraftfahrzeug? Das geht ja gar nicht – da gibt es doch all die Hersteller für Kfz-Steuergeräte, die konfigurierbare Hardware anbieten. Im Prinzip ja, aber leider sind gerade die Sensoren oder Aktoren nicht ansteuerbar, die der Entwickler genau für sein aktuelles Projekt benötigt. Dieser Beitrag gibt einen kleinen Einblick in neue Möglichkeiten des Rapid Prototyping für mechatronische Systeme auf der Basis von Speicherprogrammierbaren Steuerungen (SPS).