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Unbefristete Widerspruchsmöglichkeit des Schuldners im Einzugsermächtigungslastschriftverfahren
(2002)
Kraft-Wärme-Kälte-Kopplung mit Mikrogasturbinen : Abschlussbericht ; [01.09.2000 - 31.01.2002]
(2002)
Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.