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L. Beckers (2)
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1998
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Ein langzeitstabiler pH-Sensor auf Siliziumbasis hergestellt in Dünnschichttechnik mittels Laserablation
(1998)
Michael Josef Schöning
;
T. Prämassing
;
L. Beckers
;
W. Zander
Dünne Al2O3-Schichten für pH-Sensoren auf Halbleiterbasis mittels Laserablation
(1996)
Michael Josef Schöning
;
A. Schaub
;
L. Beckers
;
W. Zander
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