Refine
Document Type
- Article (6)
- Conference Proceeding (3)
Keywords
- Mikrosystemtechnik (2)
- VM (2)
- Virtuelle Maschine (2)
- Virtuelle Sensor-Fertigung (2)
- Fertigungsprozess (1)
- Hand-on-training (1)
- LabVIEW (1)
- MEMS ; education and training foundry (1)
- MST (1)
- Mikrotechnik (1)
- Oxidationsofen (1)
- Oxidschicht (1)
- Photolithographie (1)
- Virtual Technology Lab (1)
- Virtuelles Labor (1)
- Virtuelles Laboratorium (1)
- manufacturing process (1)
- micro technology (1)
- micro-technical components (1)
- mikrotechnische Komponenten (1)
Institute
Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.