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Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik
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Simulationswerkzeug bei der Herstellung von mikroelektronischen Komponenten. Schnelles Beurteilen von Alternativen in der Produktionsplanung und im Fertigungsdesign
(2003)
Günther Starke
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Y. Zack
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A.-P. Friedrich
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E. Drichel
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